올림푸스한국이 관찰 성능을 개선한 반도체∙평판디스플레이(FPD) 검사용 산업현미경 MX63과 MX63L을 출시했다.

반도체∙평판디스플레이 검사용 산업현미경은 반도체 소자나 평판디스플레이의 신뢰성과 완성도를 높이기 위해 활용된다. 또, 대상의 결함이나 형광 물질 등을 검출하고 미세 구조와 색상 정보 등을 확인하는 용도로 사용된다.

올림푸스는 MX63과 MX63L은 LED 광원과 새로운 포커스 시스템, 그리고 올림푸스 의 MIX 관찰법을 새로이 도입해 관찰 성능을 획기적으로 높인 점을 특징으로 내세웠다.

▲올림푸스 산업용 현미경 MX63L

MIX 관찰법은 명시야, 형광, 편광 관찰을 암시야 관찰과 조합하는 올림푸스의 고유 관찰 기법으로, 기존 현미경으로는 관찰하기 어려운 결함 등을 보다 분명하게 확인할 수 있다.

예를 들어, 반도체 웨이퍼(기판)의 구조 확인 시 명시야 관찰로 색상 정보를 확인할 수 있는 반면 정확한 회로 구조 확인은 어렵다. 반대로 암시야 관찰로 회로 구조 확인은 가능해도 색상 정보 확인이 어렵다. 그러나 MIX 관찰법을 활용하면 명시야와 암시야 관찰의 장점을 결합, 웨이퍼의 색상 정보 및 회로 구조를 한 번에 확인할 수 있어 보다 편리하고 확실한 관찰이 가능하다는 설명이다.

▲올림푸스 산업용 현미경 MX63

이번 신제품 산업현미경은 고광도 LED 광원을 적용해 색 재현율을 향상시켰다. 기존 할로겐 조명은 광도에 따라 색 재현율이 저하되어, 색상이 왜곡되고 분별력이 떨어지는 현상이 발생한다. 하지만 LED 광원은 광도와 관계없이 색을 정확히 표현하기 때문에 보다 정확한 색상 정보를 얻을 수 있다. 또한, 소모 전력이 낮고 수명이 길어 유지관리 비용을 절감할 수 있다.

새로운 포커스 에이드(Focus Aid) 기능을 통해 초점 성능도 높였다. 관찰시야에 나타나는 격자 무늬에 초점을 맞추면 시료에도 초점이 맞게 되는 원리다.

이를 이용하면 순수 웨이퍼(bare wafer)나 유리, 필름 등 무늬가 없는 시료에 초점을 정확하게 맞추는 것이 원활해지고, 시료에 대물렌즈가 부딪히는 사고 등을 미연에 방지하는 역할을 한다.

한편, MX63은 웨이퍼 직경 최대 200mm까지 관찰 가능하며, MX63L은 최대 300mm까지 가능하다.

 

베타뉴스 박은선 기자 (silver@betanews.net)
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